近日，海目星首條Micro LED中試線順利出貨，涵蓋Micro LED巨量轉(zhuǎn)移、Micro LED巨量焊接、Micro LED激光修復(fù)等設(shè)備，并已完成廠內(nèi)FAT驗(yàn)收，產(chǎn)線效率達(dá)25-100kk/h，制程良率達(dá)99.99%以上，實(shí)現(xiàn)≤50μm的Micro LED芯片應(yīng)用要求。
Micro LED中試線的順利出貨標(biāo)志著海目星已全面打通顯示科技成果轉(zhuǎn)化應(yīng)用的“最后一公里”，正在不斷加速M(fèi)icro LED顯示技術(shù)迭代、工藝創(chuàng)新和大規(guī)模量產(chǎn)的進(jìn)程。
隨著5G、人工智能等新一輪科技革命的浪潮，顯示技術(shù)正以前所未有的速度向前演進(jìn)。2024年，Micro LED進(jìn)入技術(shù)研發(fā)的大年，在車載顯示、商顯、常規(guī)消費(fèi)電子和VR/AR/MR等不同領(lǐng)域展現(xiàn)出巨大的市場(chǎng)增量和應(yīng)用潛能。
工欲善其事，必先利其器。作為下一代主流顯示技術(shù)，Micro/Mini LED前景廣闊，但量產(chǎn)仍面臨著巨量轉(zhuǎn)移、焊接精度、生產(chǎn)良率、檢測(cè)返修等諸多難題。要想實(shí)現(xiàn)大規(guī)模量產(chǎn)，并趕超國(guó)際領(lǐng)先水平，研發(fā)優(yōu)質(zhì)顯示智造裝備已成必要前提。當(dāng)下，頭部Micro/Mini LED顯示智造設(shè)備供應(yīng)商正全力研發(fā)，通過(guò)持續(xù)創(chuàng)新突破技術(shù)瓶頸，構(gòu)建差異化競(jìng)爭(zhēng)優(yōu)勢(shì)，為新顯產(chǎn)業(yè)高質(zhì)量發(fā)展注入新動(dòng)能。
海目星憑借強(qiáng)大的研發(fā)實(shí)力和對(duì)市場(chǎng)的洞察力，迅速在Micro LED設(shè)備領(lǐng)域進(jìn)行前瞻性布局，業(yè)內(nèi)率先實(shí)現(xiàn)Micro/Mini LED切割、轉(zhuǎn)移、鍵合、檢測(cè)和修復(fù)等行業(yè)關(guān)鍵工藝覆蓋，并持續(xù)攻克芯片段、顯示模組段、顯示集成段工藝制程中的重難點(diǎn)，助推Micro LED技術(shù)變革和新顯關(guān)鍵設(shè)備國(guó)產(chǎn)自主化。
Micro LED激光巨量轉(zhuǎn)移方案
#01
海目星逐一突破高速定位、精準(zhǔn)對(duì)位、激光工藝等關(guān)鍵技術(shù)瓶頸，實(shí)現(xiàn)高效率、高精度的Micro LED芯?巨量轉(zhuǎn)移/單點(diǎn)修復(fù)轉(zhuǎn)移解決方案。
在光學(xué)系統(tǒng)上，海目星采用固體激光器和自研光學(xué)整合系統(tǒng)，顯著提高光源系統(tǒng)的穩(wěn)定性。在運(yùn)動(dòng)控制上，海目星自主研發(fā)的高精度運(yùn)動(dòng)平臺(tái)，極大提高巨量轉(zhuǎn)移工藝的良率和效率。全段采用模塊化兼容設(shè)計(jì)，配合智能去除修復(fù)設(shè)備，實(shí)現(xiàn)整段制造流程整合，更具量產(chǎn)化的生產(chǎn)優(yōu)勢(shì)。
Micro LED激光巨量焊接方案
#02
海目星應(yīng)用勻化達(dá)95%以上的紅外光源，搭配高精度溫控系統(tǒng)、快速視覺(jué)對(duì)位與自研AI演算法實(shí)現(xiàn)大面積、高效率、高可靠性的芯?的巨量鍵合。本制程為使用光斑整形后的線型光斑，將預(yù)先排列于玻璃上的LED，通過(guò)吸收激光之能量后實(shí)現(xiàn)巨量焊接的工藝。
就工藝效果而言，Micro LED巨量焊接設(shè)備在完成焊接后，透過(guò)目檢可看到芯片對(duì)位精準(zhǔn)，在點(diǎn)亮測(cè)試中可實(shí)現(xiàn)點(diǎn)亮與控制皆符合制程要求。目前Micro LED巨量焊接設(shè)備已實(shí)現(xiàn)12”以上基板RGB三色焊接工藝，良率至高達(dá)99.99%以上(排除來(lái)料芯片等異常)。
Micro LED激光巨量修復(fù)方案
#03
海目星針對(duì)Micro LED制程中產(chǎn)生的缺陷，進(jìn)行膠層、芯片去除與平面度達(dá)百納米級(jí)的焊盤修整，以利后續(xù)修補(bǔ)制程。
通過(guò)?主開(kāi)發(fā)的AI整合系統(tǒng),?動(dòng)識(shí)別修補(bǔ)位置,避免因誤判造成的修補(bǔ)失敗,保證產(chǎn)品安全。同時(shí)，匹配微米級(jí)光斑對(duì)小至5μm的Micro LED的芯片進(jìn)行去除，不傷及相鄰芯片及焊盤與其他層。
經(jīng)過(guò)該設(shè)備修整之后，配合后續(xù)的補(bǔ)芯與焊接制程，面板點(diǎn)亮良率可達(dá)到99.9999%，能夠高效可控地解決Micro LED顯示面板無(wú)法完美修復(fù)的問(wèn)題與痛點(diǎn)。
光耀視界，向新篤行。中國(guó)顯示產(chǎn)業(yè)正從規(guī)模擴(kuò)張階段邁向全球競(jìng)爭(zhēng)階段，面對(duì)終極顯示技術(shù)和產(chǎn)業(yè)量產(chǎn)的重重困難，海目星始終聚焦Micro LED的發(fā)展生態(tài)和多元應(yīng)用，通過(guò)“夯基礎(chǔ)、鍛長(zhǎng)板、補(bǔ)短板”，為加快打造全球新型顯示技術(shù)創(chuàng)新高地，推動(dòng)中國(guó)光電科技產(chǎn)業(yè)邁向更加繁榮和可持續(xù)的未來(lái)，風(fēng)雨無(wú)阻向前進(jìn)。
撰稿 | 潘鳳儀
編輯 | 秦佳萍
設(shè)計(jì) | 周 甜
審核 | 孫曉東 馮鈿
THE END
