OVERVIEW
產品簡介
TOPCon激光摻雜設備
將BSG（硼硅玻璃）作為摻雜源時，先通過擴散爐推進高硼表面濃度的P++層，但不進行氧化，以P++層作為激光摻雜源，再進行激光摻雜和氧化工藝，能夠在解決硼摻濃度問題的同時簡化選擇發(fā)射極的制備工藝流程。
ADVANTAGE
產品優(yōu)勢
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采用海目星自主研發(fā)激光器及特殊光路設計，實現(xiàn)BSG激光直摻；
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根據客戶需求定制，實現(xiàn)無損、高產能、高精度、高效率的激光摻雜；
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精密視覺定位，高速柔性機構傳輸，碎片率低于0.02%；
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基本信息
- 設備尺寸：長×寬×高：5500*2300*2500（不包含三色燈，除塵機，冷水機）
- 適用硅片尺寸：166/182/210/230
- 生產場地空間：長×寬×高：9600x3260x2800
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產品性能
- 破片率：≤0.02%
- 圖形精度：±15um
- 對準精度：±15um
- 產能：182尺?≥8400pcs/h（柵線數(shù)量<132）；210尺?≥7300pcs/h（柵線數(shù)量<152）
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型號分類
- HL-KZPCNS-HO
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